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氮化硅陶瓷基板氣壓制備設(shè)備

產(chǎn)品時(shí)間:2025-08-14

簡(jiǎn)要描述:

氮化硅陶瓷基板氣壓制備設(shè)備用途及特點(diǎn):
氮化硅陶瓷基板的氣壓燒結(jié)成型。
(1)臥式結(jié)構(gòu),由爐體,加熱裝置,真空系統(tǒng)、氣氛控制系統(tǒng)等組成。
(2)爐殼材料采用16MnR壓力容器鋼或304不銹鋼。
(3)發(fā)熱體采用等靜壓石墨,保溫層采用石墨氈,碳碳深積纖維復(fù)合材料等制成。
(4)配有進(jìn)口高壓氣體質(zhì)量流量計(jì),實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)工藝氣氛下的穩(wěn)定燒結(jié)。

氮化硅陶瓷基板氣壓制備設(shè)備用途及特點(diǎn):

氮化硅陶瓷基板的氣壓燒結(jié)成型。

(1)臥式結(jié)構(gòu),由爐體,加熱裝置,真空系統(tǒng)、氣氛控制系統(tǒng)等組成。

(2)爐殼材料采用16MnR壓力容器鋼或304不銹鋼。

(3)發(fā)熱體采用等靜壓石墨,保溫層采用石墨氈,碳碳深積纖維復(fù)合材料等制成。

(4)配有進(jìn)口高壓氣體質(zhì)量流量計(jì),實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)工藝氣氛下的穩(wěn)定燒結(jié)。

(5)高壓氣氛下紅外精確控制爐溫技術(shù),特殊的紅外吹掃結(jié)構(gòu),確保在最溫度2100℃(不超過(guò)2MPa)長(zhǎng)期穩(wěn)定燒結(jié)。

氮化硅陶瓷基板氣壓制備設(shè)備主要規(guī)格:

設(shè)計(jì)溫度2100℃、真空Pa、裝料區(qū)尺寸有(長(zhǎng)寬高):400×250×250mm、500×450×450mm、1250×500×500mm、1400×600×600mm

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